利用光致抗蚀剂浸蚀
_
травление травка с использованием фоторезиста
пословный:
利用 | 用光 | 光致抗蚀剂 | 浸蚀 |
использовать, воспользоваться, применять, утилизировать, утилизация; при помощи
|
1) тех. эрозия, вымывание; эрозионный, агрессивное воздействие
2) хим. травить; травление
|